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Related articles簡要描述:Advanced Energy CESAR 133等離子發生器 高精度、多頻段、工業級射頻(RF)等離子發生器,專為半導體、平板顯示、太陽能及精密鍍膜等高要求工藝設計,提供300W~5kW 功率與 2/4/13.56/27.12/40.68MHz 多頻段選擇。
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Advanced Energy CESAR 133等離子發生器
公司簡介:
Advanced Energy(AE,優良能源工業) 是精密電源、測量與控制技術跨國企業,核心服務于半導體、工業加熱、醫療、數據中心等高精尖制造領域,是你之前咨詢的 THYRO-A 可控硅功率控制器的品牌母公司。
Advanced Energy CESAR
產品優勢:
穩定可靠:采用成熟 E 類放大器架構,適應高失配負載與惡劣等離子環境
精準控制:功率調節精度高(≤±1%),支持脈沖模式(1~30kHz)
靈活通用:全系列覆蓋主流頻段與功率,200/400VAC雙電壓輸入
易用智能:大 LCD 液晶面板、中文 / 英文菜單、多路通訊與模擬接口
安全保護:過流、過壓、過溫、駐波比(VSWR)全保護,CE/SEMI 認證
典型應用:
半導體:PECVD/ICP/RIE 刻蝕、薄膜沉積、等離子清洗
顯示面板:LCD/OLED 鍍膜、刻蝕、表面處理
太陽能:PECVD、硅片清洗、擴散工藝
工業鍍膜:裝飾 / 功能涂層、光學鍍膜、玻璃鍍膜

型號列表:
CESAR 136
CESAR 1310
CESAR 1320
CESAR 1330
CESAR 1350
CESAR 133
CESAR 026
CESAR 046
CESAR 276
CESAR 406

Advanced Energy CESAR 133等離子發生器